上海德硅凱氟光電科技有限公司，致力于成為國際一流的氟化物光學(xué)晶體及元器件供應(yīng)商。公司建設(shè)國內(nèi)首條8英寸 - 12英寸紫外級氟化鈣晶體生產(chǎn)線，實現(xiàn)國產(chǎn)光刻機關(guān)鍵材料的產(chǎn)業(yè)化，逐步形成“光學(xué)晶體生長 - 光學(xué)設(shè)計 - 光學(xué)加工 - 光學(xué)器件”的一站式服務(wù)能力。
大尺寸、紫外級CaF2單晶是193nm DUV光刻機照明系統(tǒng)、投影物鏡系統(tǒng)、紫外光源等部分的核心元器件材料，是光刻機國產(chǎn)化"卡脖子”的關(guān)鍵材料。目前，紫外光刻級CaF2 晶體全部依賴進口。
研發(fā)團隊超60%人員具有碩士以上學(xué)歷。
項目曾獲02專項支持，并計劃列入國家"十四五”規(guī)劃。
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